A semiconductor processing system includes a transfer apparatus for transferring a wafer. The transfer apparatus has a pick arm member with wings. The reference distances between the wafer located at the normal position and the wings are stored in a memory of a CPU. Detection ranges of line sensors are set in a standby position in front of a process chamber in order to detect the distances between the wafer and the wings. In the CPU, the amount of positional shift of the wafer is detected based on the reference distances and the detected distances.

Un sistema de proceso del semiconductor incluye un aparato de la transferencia para transferir una oblea. El aparato de la transferencia tiene un miembro del brazo de la selección con las alas. Las distancias de la referencia entre la oblea situada en la posición normal y las alas se almacenan en una memoria de una CPU. Las gamas de la detección de la línea sensores se fijan en una posición espera delante de un compartimiento de proceso para detectar las distancias entre la oblea y las alas. En la CPU, la cantidad de cambio posicional de la oblea se detecta basó en las distancias de la referencia y las distancias detectadas.