The invention is an integrated optical sensing element for detecting and measuring changes in position or deflection. A deflectable member, such as a microcantilever, is configured to receive a light beam. A waveguide, such as an optical waveguide or an optical fiber, is positioned to redirect light towards the deflectable member. The waveguide can be incorporated into the deflectable member or disposed adjacent to the deflectable member. Means for measuring the extent of position change or deflection of the deflectable member by receiving the light beam from the deflectable member, such as a photodetector or interferometer, receives the reflected light beam from the deflectable member. Changes in the light beam are correlated to the changes in position or deflection of the deflectable member. A plurality of deflectable members can be arranged in a matrix or an array to provide one or two-dimensional imaging or sensing capabilities.

L'invention est un élément de sensation optique intégré pour détecter et la mesure change en position ou le débattement. Un membre deflectable, tel qu'un microcantilever, est configuré pour recevoir un faisceau lumineux. Un guide d'ondes, tel qu'un guide d'ondes optique ou une fibre optique, est placé pour réorienter la lumière vers le membre deflectable. Le guide d'ondes peut être incorporé au membre deflectable ou être disposé à côté du membre deflectable. Les moyens de mesurer l'ampleur du changement de position ou le débattement du membre deflectable en recevant le faisceau lumineux du membre deflectable, tel qu'un détecteur photoélectrique ou un interféromètre, reçoit le faisceau lumineux reflété du membre deflectable. Des changements du faisceau lumineux sont corrélés aux changements en position ou le débattement du membre deflectable. Une pluralité de membres deflectable peut être arrangée dans une matrice ou une rangée pour fournir un ou la formation image bidimensionnelle ou des possibilités de sensation.