A storage/buffering system for the stocking and/or buffering of substrate and/or substrate carriers in a process environment includes a 6-axis robot. An end-effector is connected with the robot providing an additional one degree of freedom and a mechanism for grabbing and moving of substrate and/or substrate carriers. The robot is mounted in an inverted orientation to a removable service cart for easy removal of the robot to a service area in the event of breakdown. The robot receives commands from a programmable controller connected to control the robot and configured to direct the arm of the robot through a set of movements. Product is loaded in and out of the system through I/O load ports. Product is stored inside the storage/buffering system on a plurality of storage locations, each with product presence/absence detect sensor.

Een opslag/een als buffer optredend voor systeem voor de kous en/of het als buffer optreden voor van substraat en/of de substraatdragers in een procesmilieu omvatten een 6-as robot. End-effector wordt aangesloten aan de robot die extra verstrekt graad van vrijheid en een mechanisme om van substraat en/of substraatdragers te grijpen en zich te bewegen. De robot wordt opgezet in een omgekeerde richtlijn aan een verwijderbare de dienstkar voor gemakkelijke verwijdering van de robot aan een de dienstgebied in het geval van analyse. De robot ontvangt bevelen van een programmeerbaar controlemechanisme dat wordt en om de robot te controleren wordt gevormd aangesloten om het wapen van de robot door een reeks bewegingen te leiden. Het product wordt geladen in en uit het systeem door I/O ladingshavens. Het product wordt opgeslagen binnen de opslag/het als buffer optredende voor systeem op een meerderheid van opslagplaatsen, ontdekt elk met productaanwezigheid/de afwezigheid sensor.