A coating composition comprising a silicon compound represented by the following formula (1): Si.sub.n X.sup.1.sub.n (1) wherein X.sup.1 is a hydrogen atom or a halogen atom, and n is an integer of 4 or more, on the proviso that n occurrences of X.sup.1 may be the same as or different from one another, or a modified silane compound represented by the following formula (2): Si.sub.n X.sup.2.sub.m Y.sub.l (2) wherein X.sup.2 is a hydrogen atom or a halogen atom, Y is a boron atom or a phosphorus atom, n is an integer of 3 or more, l is an integer of 1 or more, and m is an integer of n to 2n+3, on the proviso that m occurrences of X.sup.2 may be the same as or different from one another, and solvent thereof. This coating composition is suitably used in the production of a device for forming a silicon film or a boron- or phosphorous-doped silicon film on a substrate having a large area.

Uma composição revestindo que compreende um composto do silicone representado pela seguinte fórmula (1): Si.sub.n X.sup.1.sub.n (1) wherein X.sup.1 é um átomo do hidrogênio ou um átomo do halogênio, e n estão um inteiro de 4 ou mais, no proviso que as ocorrências de n de X.sup.1 podem ser as mesmas que ou diferentes de uma outra, ou em um composto modificado do silane representado pela seguinte fórmula (2): Si.sub.n X.sup.2.sub.m Y.sub.l (2) wherein X.sup.2 é um átomo do hidrogênio ou um átomo do halogênio, Y é um átomo do boro ou um átomo do phosphorus, n é um inteiro de 3 ou mais, l é um inteiro de 1 ou mais, e m é um inteiro de n a 2n+3, no proviso que as ocorrências de m de X.sup.2 podem ser as mesmas que ou diferentes de uma outra, e no solvente disso. Esta composição revestindo é usada apropriadamente na produção de um dispositivo dando forma a uma película do silicone ou a uma película phosphorous-phosphorous-doped do boro ou do silicone em uma carcaça que tem uma área grande.