Robot arm (16) end effectors (10, 110, 210) of this invention rapidly and cleanly transfer semiconductor wafers (12) between a wafer cassette (14) and a processing station. The end effectors include fiber optic light transmission sensors (90, 102, 202, 214) for determining various wafer surface, edge, thickness, tilt, and location parameters. The sensors provide robot arm extension and elevation positioning data supporting methods of rapidly and accurately placing and retrieving a wafer from among a stack of closely spaced wafers stored in the wafer cassette. The methods effectively prevent accidental contact between the end effector and the wafers while effecting clean, secure gripping of the wafer.

Terminaux du bras de robot (16) (10, 110, 210) de cette invention rapidement et de gaufrettes de semi-conducteur propres de transfert (12) entre une cassette de gaufrette (14) et une station de traitement. Les terminaux incluent les sondes optiques de transmission légère de fibre (90, 102, 202, 214) pour déterminer la divers surface de gaufrette, bord, épaisseur, inclinaison, et paramètres d'endroit. Les sondes fournissent la prolongation et l'altitude de bras de robot plaçant des méthodes de soutènement de données de rapidement et exactement plaçant et recherchant une gaufrette de parmi une pile de gaufrettes étroitement espacées stockées dans la cassette de gaufrette. Les méthodes empêchent efficacement le contact accidentel entre l'extrémité effectrice et les gaufrettes tout en effectuant saisir propre et bloqué de la gaufrette.