An embodiment of the instant invention is a method of fabricating a
ferroelectric capacitor which is situated over a structure, the method
comprising the steps of: forming a bottom electrode on the structure (124
of FIG. 1), the bottom electrode having a top surface and sides; forming a
capacitor dielectric (126 of FIG. 1) comprised of a ferroelectric material
on the bottom electrode, the capacitor dielectric having a top surface and
sides; forming a top electrode (128 and 130 of FIG. 1) on the capacitor
dielectric, the top electrode having a top surface and sides, the
ferroelectric capacitor is comprised of the bottom electrode, the
capacitor dielectric, and the top electrode; forming a barrier layer (118
and 120 of FIG. 1) on the side of the bottom electrode, the side of the
capacitor dielectric, and the side of the top electrode; forming a
dielectric layer on the barrier layer and the structure, the dielectric
having a top surface and a bottom surface; and performing a thermal step
for a duration at a temperature between 400 and 900 C. in an ambient
comprised of a gas selected from the group consisting of: argon, nitrogen,
and a combination thereof, the step of performing a thermal step being
performed after the step of forming the barrier layer.
Una encarnación de la invención instantánea es un método de fabricar un condensador ferroelectric que se sitúe sobre una estructura, el método que abarca los pasos de: formación de un electrodo de tierra en la estructura (124 de fig. 1), el electrodo de tierra que tiene una superficie superior y lados; formación de un dieléctrico del condensador (126 de fig. 1) abarcada de un material ferroelectric en el electrodo de tierra, el dieléctrico del condensador que tiene una superficie superior y lados; formación de un electrodo de la tapa (128 y 130 de fig. 1) en el dieléctrico del condensador, el electrodo superior que tiene una superficie superior y lados, el condensador ferroelectric se abarca del electrodo de tierra, del dieléctrico del condensador, y del electrodo superior; formación de una capa de barrera (118 y 120 de fig. 1) en el lado del electrodo de tierra, el lado del dieléctrico del condensador, y el lado del electrodo superior; formando una capa dieléctrica en la capa de barrera y la estructura, el dieléctrico teniendo una superficie superior y un fondo; y realizando un paso termal para una duración en una temperatura entre 400 y 900 C. en un ambiente abarcada de un gas seleccionado de consistir en el grupo: argón, nitrógeno, y una combinación de eso, el paso de realizar un paso termal que es realizado después del paso de formar la capa de barrera.
