An alignment tool, method and system are provided for aligning a cassette handler to a robot blade in a workpiece handling system, in which the tool comprises a frame or fixture adapted to be supported by the cassette handler support surface, in which the frame has one or more distance sensors positioned to measure the distance of a workpiece or robot blade from the sensor or a predetermined reference point or surface. In a preferred embodiment, the frame emulates a workpiece cassette and the distance sensors provide a numerical output of the distance to the workpiece. As explained in greater detail below, these distance measurements facilitate accurately leveling and aligning the cassette handler support surface relative to a workpiece supported by the robot blade such that when the frame is replaced by an actual workpiece cassette, the workpiece cassette will also be level and aligned with respect to the robot blade and the workpiece held by the blade. As a consequence, accidental scratching and breakage of workpieces such as semiconductor wafers and display substrates may be reduced or eliminated.

Uma ferramenta, um método e um sistema de alinhamento são fornecidos alinhando um alimentador de gaveta a uma lâmina do robô em um sistema de manipulação do workpiece, em que a ferramenta compreende um frame ou um dispositivo elétrico adaptado para ser suportado pela superfície da sustentação do alimentador de gaveta, em que o frame tem um ou mais sensor da distância posicionado para medir a distância de uma lâmina do workpiece ou do robô do sensor ou um ponto ou uma superfície predeterminada de referência. Em uma incorporação preferida, o frame emula uma gaveta do workpiece e os sensores da distância fornecem uma saída numérica da distância ao workpiece. Como explicado em um detalhe mais grande abaixo, estas medidas da distância facilitam exatamente nivelar e alinhar a superfície da sustentação do alimentador de gaveta relativo a um workpiece suportado pela lâmina do robô tais que quando o frame é substituído por uma gaveta real do workpiece, a gaveta do workpiece será também nível e alinhado com o respeito à lâmina do robô e ao workpiece prendidos pela lâmina. Consequentemente, riscar e ruptura acidentais dos workpieces tais como wafers de semicondutor e carcaças da exposição podem ser reduzidas ou eliminado.