An integrated system is disclosed for workpiece handling and/or inspection at the front end of a tool. The system comprises a rigid member of unitary construction such as a metal plate which mounts to the front of a tool associated with a semiconductor process. The front end components, including the load port assemblies, prealigners and workpiece handling robot, are mounted to the plate to provide precise and repeatable positioning of the front end components with respect to each other.

Een geïntegreerd systeem wordt onthuld voor werkstuk behandeling en/of inspectie op het vooreind van een hulpmiddel. Het systeem bestaat uit een stijf lid van gecentraliseerde bouw zoals een metaalplaat die aan de voorzijde van een hulpmiddel verbonden aan een halfgeleiderproces opzet. De vooreindcomponenten, met inbegrip van de assemblage van de ladingshaven, prealigners en werkstuk behandelingsrobot, worden opgezet aan de plaat om het nauwkeurige en herhaalbare plaatsen van de vooreindcomponenten met betrekking tot elkaar te verstrekken.