The present invention provides an apparatus and associated method in which the apparatus comprises a multiple blade robot and a compensating device. The multiple blade robot includes at least one set of robot blades. The compensating device adjusts for differences in spacing between the set of robot blades and spacing between two or more cells. In different embodiments, the compensating device may be coupled to one or more of the process cells, one or more of the substrate holder systems, or one or more of the robot blades.

De onderhavige uitvinding verstrekt apparaten en een bijbehorende methode waarin het apparaat uit een veelvoudige bladrobot en uit een het compenseren apparaat bestaat. De veelvoudige bladrobot omvat minstens één reeks robotbladen. Het het compenseren apparaat past verschillen in het uit elkaar plaatsen tussen de reeks robotbladen en het uit elkaar plaatsen tussen twee of meer cellen aan. In verschillende belichamingen, kan het het compenseren apparaat aan één of meer van de procescellen, één of meer van de systemen van de substraathouder, of één of meer van de robotbladen worden gekoppeld.