A system and method of manufacturing wafers are provided suitable for a semiconductor manufacturing system and a method thereof capable of shortening the processing period composed of a series of processes applied to objects to be processed, mainly carry out processes and conveyance peace by peace, and which can manufacture even various kings of products. The system is provided with a plurality of processing units each having therein a conveying mechanism, and is provided therein with a conveyer device for conveying the objects to be processed to the processing units. Further, the conveyer device includes loader conveying means which is laid along object transferring ports of the plurality of processing units across the object transferring ports of not less than two of the processing units, and a running robot which runs across not less than two of the object transferring ports, and a transferring robot for transferring the objects to be processed from the running robot to the processing units through the transferring ports, are arranged in the loader means. The loader means is shielded and provided with a purifying device so as to define an atmospheric pressure space conveying path.

Een systeem en een methode om wafeltjes worden te vervaardigen verstrekt geschikt voor een halfgeleider productiesysteem en een methode daarvan geschikt om de verwerkingsperiode te verkorten die uit een reeks processen wordt samengesteld die op voorwerpen worden toegepast worden verwerkt, hoofdzakelijk processen en vervoersvrede door vrede uitvoeren, en die zelfs diverse koningen van producten kunnen vervaardigen. Het systeem wordt voorzien van een meerderheid van verwerkingseenheidën elk die daarin een vervoerend mechanisme heeft, en daarin voorzien van een transportbandapparaat om de voorwerpen te vervoeren die aan de verwerkingseenheidën moeten worden verwerkt. Verder, omvat het transportbandapparaat lader die middel vervoert dat langs voorwerp overbrengend havens van de meerderheid van verwerkingseenheidën over het voorwerp overbrengend havens van niet minder dan twee van de verwerkingseenheidën wordt gelegd, en een lopende robot die over niet minder dan twee van het voorwerp lopen dat havens overbrengt worden, en een het overbrengen robot voor het overbrengen van de voorwerpen die van de doornemende robot moeten worden verwerkt aan de verwerkingseenheidën de het overbrengen havens, geschikt in de ladermiddelen. Het ladermiddel wordt beschermd en van een zuiverend apparaat voorzien om een atmosferische druk ruimte vervoerende weg te bepalen.