A substrate processing system having a transfer chamber having two processing chambers and two load lock chambers coupled thereto is generally provided. The transfer chamber includes a body having a first transfer area and a second transfer area defined therein on either side of a center axis. A first passage couples one of the load locks with the first transfer area and a second passage couples the other one of the load locks with the second transfer area. The first passage and the second passage form an acute angle about the center axis. A transfer platform is disposed between the first transfer area and the second transfer area. A first transfer robot and a second transfer robot are disposed in the first and second transfer areas, respectively. Each robot is adapted to transfer substrates between the load locks, the transfer platform and a processing chamber.

Un sistema di elaborazione del substrato che ha una capsula di trasferimento avere due alloggiamenti d'elaborazione e due alloggiamenti della serratura del carico coppia a ciò è fornito generalmente. La capsula di trasferimento include un corpo che ha una prima zona di trasferimento e una seconda zona di trasferimento definite in ciò da qualsiasi lato di un asse concentr. Coppie una le prime del passaggio delle serrature del carico con la prima zona di trasferimento e un secondo passaggio coppia altro quello delle serrature del carico con la seconda zona di trasferimento. Il primo passaggio e la seconda forma del passaggio un angolo acuto circa l'asse concentr. Una piattaforma di trasferimento è disposta di fra la prima zona di trasferimento e la seconda zona di trasferimento. Un primo robot di trasferimento e un secondo robot di trasferimento sono disposti di nelle prime e seconde zone di trasferimento, rispettivamente. Ogni robot è adattato ai substrati di trasferimento fra le serrature del carico, la piattaforma di trasferimento e un alloggiamento d'elaborazione.