A scatterometer for the investigation of surface quality causes a radiation beam (15) with a well-defined direction to fall upon a sample under test (12). The radiation scattered by the sample is intercepted by a screen (10). The two-dimensional image on the screen is captured by a detection system (8). The electric output signal (S) of the detection system is processed for providing a figure of merit of the sample.

Un scatterometer para la investigación de la calidad superficial causa una viga de la radiación (15) con una dirección bien definida a la caída sobre una muestra bajo prueba (12). La radiación dispersada por la muestra es interceptada por una pantalla (10). La imagen de dos dimensiones en la pantalla es capturada por un sistema de la detección (8). La señal de salida eléctrica (s) del sistema de la detección se procesa para proporcionar una figura del mérito de la muestra.