An apparatus and system for determining the properties of a sample from
measured spectral data collected from the sample by performing a method of
multivariate spectral analysis. The method can include: generating a
two-dimensional matrix A containing measured spectral data; providing a
weighted spectral data matrix D by performing a weighting operation on
matrix A; factoring D into the product of two matrices, C and S.sup.T, by
performing a constrained alternating least-squares analysis of D=CS.sup.T,
where C is a concentration intensity matrix and S is a spectral shapes
matrix; unweighting C and S by applying the inverse of the weighting used
previously; and determining the properties of the sample by inspecting C
and S. This method can be used by a spectrum analyzer to process X-ray
spectral data generated by a spectral analysis system that can include a
Scanning Electron Microscope (SEM) with an Energy Dispersive Detector and
Pulse Height Analyzer.
Συσκευές και ένα σύστημα για τις ιδιότητες ενός δείγματος από τα μετρημένα φασματικά στοιχεία συνέλεξαν από το δείγμα με την εκτέλεση μιας μεθόδου πολλών μεταβλητών φασματικής ανάλυσης. Η μέθοδος μπορεί να περιλάβει: παραγωγή μιας δισδιάστατης μήτρας Α που περιέχει τα μετρημένα φασματικά στοιχεία παρέχοντας μια σταθμισμένη φασματική μήτρα δ στοιχείων με την εκτέλεση μιας λειτουργίας στάθμισης στη μήτρα Α η πρακτόρευση δ στο προϊόν δύο μητρών, γ και S.sup.T, με την εκτέλεση μιας περιορισμένης εναλλασσόμενης least-squares ανάλυσης D=CS.sup.T, όπου το γ είναι μια μήτρα έντασης συγκέντρωσης και το s είναι μια φασματική μήτρα μορφών unweighting γ και το s με την εφαρμογή του αντιστρόφου της στάθμισης χρησιμοποιούμενης προηγουμένως και καθοριστικός τις ιδιότητες του δείγματος με την επιθεώρηση του γ και του s. Αυτή η μέθοδος μπορεί να χρησιμοποιηθεί από μια συσκευή ανάλυσης φάσματος για να επεξεργαστεί τα των ακτίνων X φασματικά στοιχεία που παράγονται από ένα σύστημα φασματικής ανάλυσης που μπορεί να περιλάβει ένα ηλεκτρονικό μικροσκόπιο ανίχνευσης (SEM) με μια συσκευή ανάλυσης ύψους ενεργειακών διασποράς ανιχνευτών και σφυγμού.
