A robot wafer alignment tool uses a reflector mounted on a multi-axis robot to determine the position of the robot or other objects within a chamber. The reflector reflects images to at least one camera from an area or object of interest in the chamber.

Инструмент выравнивания вафли робота использует рефлектор установленный на multi-axis роботе для того чтобы обусловить положение робота или других предметов внутри камера. Рефлектор отражает изображения до по крайней мере одна камера от зоны или предмета интереса в камере.