A polishing apparatus includes an arrangement of a plurality of units to deal with various operations and a robot having at least one arm. The plurality of units are disposed around the robot and include a loading unit for receiving thereon a, e.g. dry, workpiece to be polished, a polishing system including at least one polishing unit for polishing the workpiece, a washing system and a drying system at least including one washing unit for washing and drying the polished workpiece, and an unloading unit for receiving thereon a resultant clean and dry polished workpiece.

Um instrumento lustrando inclui um arranjo de um plurality das unidades para tratar das várias operações e de um robô que tem ao menos um braço. O plurality das unidades é disposto em torno do robô e inclui uma unidade de carregamento para receber thereon a, por exemplo seca, workpiece a ser lustrados, um sistema lustrando including ao menos uma unidade lustrando para lustrar o workpiece, um sistema de lavagem e um sistema de secagem ao menos including uma unidade de lavagem para lavar e secar o workpiece lustrado, e uma unidade descarregando para receber thereon um workpiece lustrado limpo e seco resultante.