A two-layer structured electric power application electrode including a non-split electrode consisting of a single planar plate and six split electrodes arranged on the non-split electrode so as to be electrically in contact with the non-split electrode is arranged on the upper side of a discharge chamber provided within a vacuum container such that the power application electrode faces a strip substrate in parallel. The split electrodes are arranged in such a manner as to form a planar plane, and the distance between the surfaces of the split electrodes facing the strip substrate and the strip substrate is uniform. The total area of the surfaces of the split electrodes facing the strip substrate is the same as the area of the non-split electrode on which the split electrodes are mounted.

Een twee-laag structureerde de elektrode van de stroomtoepassing met inbegrip van een niet gespleten elektrode die uit één enkele vlakplaat bestaat en zes gespleten elektroden die op de niet gespleten elektrode worden geschikt wordt om elektrisch in contact met de niet gespleten elektrode te zijn aan de hogere kant van een lossingskamer geschikt die binnen een vacuümcontainer wordt verstrekt dusdanig dat de elektrode van de machtstoepassing tegelijkertijd een parallel van het strooksubstraat onder ogen ziet. De gespleten elektroden worden geschikt op een dergelijke manier om een vlakvliegtuig te vormen, en de afstand tussen de oppervlakten van de gespleten elektroden die het strooksubstraat en het strooksubstraat onder ogen zien is eenvormig. Het totale gebied van de oppervlakten van de gespleten elektroden die het strooksubstraat onder ogen zien is het zelfde als het gebied van de niet gespleten elektrode waarop de gespleten elektroden worden opgezet.