A wafer handling robot is disclosed for transporting workpieces such as semiconductor wafers and flat panel displays between process tools and/or workpiece storage locations within a wafer fab. The robot includes a base comprising a rigid backbone for providing a significant degree of structural stability to the robot. The base further includes a mast, a linear drive system for translating the mast, and a shoulder drive system for rotating the mast. The shoulder drive system includes a harmonic drive reduction system for providing a stiff, smooth and precise output rotation of the mast section. The robot further includes a proximal link fixedly mounted to the mast for rotation with the mast, and a distal link rotatably mounted to the proximal link. An end effector for supporting various workpieces is rotationally mounted to the distal end of the distal link. An elbow drive is mounted to the proximal link, extending down into the mast section, for driving rotation of the distal link with respect to the proximal link. Torque is transmitted from the elbow drive to the distal link by steel straps wrapped around a drive pulley from the elbow drive and a driven pulley in the distal link. Similarly, torque is transmitted from the distal link to the end effector via a second set of steel straps wrapped around pulleys provided in the distal link and end effector, respectively.

Een wafeltje behandelingsrobot wordt onthuld voor het vervoeren van werkstukken zoals halfgeleiderwafeltjes en vlak paneelvertoningen tussen proceshulpmiddelen en/of de plaatsen van de werkstukopslag binnen een wafeltje fab. De robot omvat een basis bestaand uit een stijve backbone voor het verstrekken van een significante graad van structurele stabiliteit aan de robot. De basis omvat een mast, verder een lineair aandrijvingssysteem om de mast te vertalen, en een systeem van de schouderaandrijving om de mast te roteren. Het systeem van de schouderaandrijving omvat een harmonisch systeem van de aandrijvingsvermindering om een stijve, vlotte en nauwkeurige outputomwenteling van de mastsectie te verstrekken. De robot omvat verder een proximale verbinding vast opgezet aan de mast voor omwenteling met de mast, en een distale verbinding draaibaar opgezet aan de proximale verbinding. Een eindeffector voor het steunen van diverse werkstukken wordt rotationally opgezet aan het distale eind van de distale verbinding. Een elleboogaandrijving wordt opgezet aan de proximale verbinding, die zich neer in de mastsectie uitbreidt, voor het drijven van omwenteling van de distale verbinding met betrekking tot de proximale verbinding. De torsie wordt van de elleboogaandrijving aan de distale verbinding door staalriemen overgebracht die rond een aandrijvingskatrol van de elleboogaandrijving en een gedreven katrol in de distale verbinding worden verpakt. Op dezelfde manier wordt de torsie van de distale verbinding met de eindeffector via een tweede reeks staalriemen overgebracht die rond katrollen worden verpakt die in de distale verbinding en eindeffector worden verstrekt, respectievelijk.