Incorporating the use of a permanent magnet within a GCIB apparatus to separate undesirable monomer ions from a gas cluster ion beam to facilitate improved processing of workpieces. In an alternate embodiment, the effect of the permanent magnet may be controlled by the use of an electrical coil. The above system eliminates problems related to power consumption and heat generation.

Ενσωματώνοντας τη χρήση ενός μόνιμου μαγνήτη μέσα σε μια συσκευή GCIB στα χωριστά ανεπιθύμητα ιόντα μονομερών από συγκεντρωθείτε αέριο την ιονική ακτίνα για να διευκολύνετε τη βελτιωμένη επεξεργασία των κομματιών προς κατεργασία. Σε μια εναλλάσσομαι ενσωμάτωση, η επίδραση του μόνιμου μαγνήτη μπορεί να ελεγχθεί με την χρήση μιας ηλεκτρικής σπείρας. Το ανωτέρω σύστημα αποβάλλει τα προβλήματα σχετικά με την κατανάλωση ισχύος και την παραγωγή θερμότητας.