A robot arm having wafer-scratching prevention function is disclosed. A touch control method is used in the robot arm to detect the abnormal situation of scratching a wafer, thereby promptly stopping the motion of robot arm from continuously accessing the wafer, so as to prevent a large amount of wafers from scrapping. The robot arm having wafer-scratching prevention function has an electrically conductive layer and an electrically non-conductive layer, wherein the non-conductive layer is located on one surface of the robot arm contacting a target wafer to be accessed, and the conductive layer is on the other surface opposite to the non-conductive layer. The conductive layer is connected to a circuit to generate a stopping signal for stopping the robot arm from continuously accessing the wafer.

Een robotwapen dat wafeltje-krassende preventiefunctie heeft wordt onthuld. Een methode van de aanrakingscontrole wordt gebruikt in het robotwapen om de abnormale situatie te ontdekken van het krassen van een wafeltje, daardoor onmiddellijk tegenhoudend de motie van robotwapen van onophoudelijk de toegang tot van het wafeltje, om een grote hoeveelheid wafeltjes te verhinderen af te danken. Het robotwapen dat wafeltje-krassende preventiefunctie heeft heeft een elektrisch geleidende laag en een elektrisch niet geleidende laag, waarin de niet geleidende laag op één oppervlakte van het robotwapen contacterend een doelwafeltje dat moet worden betreden wordt gevestigd, en de geleidende laag zijn op de andere oppervlakte tegengesteld aan de niet geleidende laag. De geleidende laag wordt verbonden met een kring om een ophoudend signaal te produceren voor het tegenhouden van het robotwapen van onophoudelijk de toegang tot van het wafeltje.