A system/method for interactively monitoring and adjusting product output from a module that includes two or more preparation tools. The output is a result of the coordinated effort of the two or more semiconductor preparation tools making up the module. The first of the tools is capable of implementing a first process on a semiconductor product and producing a first output. The second of the tools is configured to receive as input the first output from the first tool. The second tool is also capable of implementing a second process on the semiconductor product and producing a second output. A module control mechanism is capable of facilitating the exchange of information between the first tool and the second tool so that the module yields a desired semiconductor product output. Certain information can also be exchanged between the first and second tools. Other system/method embodiments for output/production control are also envisioned.

Uno system/method per con interazione il controllo e la registrazione del prodotto ha prodotto da un modulo che include due o più attrezzi della preparazione. L'uscita è un risultato dello sforzo coordinato di due o più attrezzi della preparazione a semiconduttore che fanno sul modulo. Il primo degli attrezzi è capace di effettuare un primo processo su un prodotto a semiconduttore e di produrre una prima uscita. Il secondo degli attrezzi è configurato per ricevere come input la prima uscita dal primo attrezzo. Il secondo attrezzo è inoltre capace di effettuare un secondo processo sul prodotto a semiconduttore e di produrre una seconda uscita. Un meccanismo di controllo di modulo è capace di facilitare lo scambio di informazioni fra il primo attrezzo ed il secondo attrezzo in modo che il modulo renda un'uscita voluta del prodotto a semiconduttore. Determinate informazioni possono anche essere scambiate fra i primi e secondi attrezzi. Altri incorporamenti di system/method per controllo di output/production inoltre sono previsti.