A pod transfer system having a retractable mast and a rotatable and
vertically movable hoist is disclosed. A first extendable robot is
situated under a first overhead transfer (OHT) unit, and a second
extendable robot is situated under the second OHT unit. Each extendable
robot has a fully retracted position for loading a pod from its
respective OHT unit, as well as a fully extended position. The
retractable mast is situated between a first conveyer and a second
conveyer that are themselves situated between the OHT units. The
retractable mast has a default fully extended position and a tool move-in
fully retracted position. The hoist is situated on the retractable mast.
The hoist is able to load the pod from either robot when the robot is in
its fully extended position, and is able to load the pod to one of the
conveyors.
Un sistema di trasferimento del baccello che ha un albero ritrattabile e una gru rotativa e verticalmente mobile è rilevato. Un primo robot allungabile è situato sotto una prima unità ambientale di trasferimento (OHT) e un secondo robot allungabile è situato sotto la seconda unità di OHT. Ogni robot allungabile ha una posizione completamente ritratta per il carico del baccello dalla relativa unità rispettiva di OHT, così come una posizione completamente estesa. L'albero ritrattabile è situato fra un primo trasportatore e un secondo trasportatore che essi stessi sono situati fra le unità di OHT. L'albero ritrattabile ha una posizione completamente estesa di difetto e un attrezzo spost- nella posizione completamente ritratta. La gru è situata sull'albero ritrattabile. La gru può caricare il baccello da il uno o il altro robot quando il robot è nella relativa posizione completamente estesa e può caricare il baccello ad uno dei trasportatori.