It is an object of the present invention to provide a high-reliability
semiconductor device having a storage capacitor and wiring using copper
for a main conductive film. Under the above object, the present invention
provides a semiconductor device comprising: a semiconductor substrate; a
storage capacitor formed on the main surface side of the semiconductor
substrate and being a first electrode and a second electrode arranged so
as to put a capacitor insulation film; a wiring conductor formed on the
main surface side of the semiconductor substrate and including the copper
(Cu) element; and a first film formed on the surface of the wiring
conductor; wherein a material configuring the first film and a material
configuring the first electrode and/or the second electrode include the
same element.
Будет предметом присытствыющего вымысла для того чтобы обеспечить прибора на полупроводниках высок-nadejnosti имея конденсатор хранения и связывая проволокой использующ медь для главной проводной пленки. Под вышеуказанным предметом, присытствыющий вымысел обеспечивает прибора на полупроводниках состоя из: субстрат полупроводника; конденсатор хранения сформировал на главным образом поверхностной стороне субстрата и быть полупроводника первым электродом и вторым электродом аранжированные, что положил пленку изоляции конденсатора; проводник проводки сформировал на главным образом поверхностной стороне субстрата и вклюать полупроводника медный элемент (cu); и первая пленка сформировала на поверхности проводника проводки; при котором материал устанавливая первую пленку и материал устанавливая первый электрод and/or второй электрод вклюают такой же элемент.