Methods for forming materials containing both zirconium and platinum, such as platinum-zirconium films, and articles containing such materials. The resultant films can be used as electrodes in an integrated circuit structure, particularly in a memory device such as a ferroelectric memory device. The platinum-zirconium materials can also be used in catalyst materials.

Méthodes pour former des matériaux contenant le zirconium et le platine, tel que des films de platine-zirconium, et des articles contenant de tels matériaux. Les films résultants peuvent être employés comme électrodes dans une structure de circuit intégré, en particulier dans un bloc de mémoires tel qu'un bloc de mémoires ferroelectric. Les matériaux de platine-zirconium peuvent également être employés en matériaux de catalyseur.