A wafer holder in a robot blade. A holder plate having a front end is provided. At least one sensor is disposed at the front end of the holder plate. A sensing circuit is connected to the sensor, wherein the sensing circuit determines the presence or absence of an obstruction positioned immediately ahead of the holder plate. Thus, the wafer holder is capable of avoiding contact with obstructions, thereby preventing system crash during semiconductor manufacturing process.

Een wafeltjehouder in een robotblad. Een houdersplaat die een vooreind heeft wordt verstrekt. Minstens één sensor wordt geschikt op het vooreind van de houdersplaat. Een ontdekkende kring wordt verbonden met de sensor, waarin de ontdekkende kring de aanwezigheid of het ontbreken van een obstakel bepaalt dat onmiddellijk voor de houdersplaat wordt geplaatst. Aldus, kan de wafeltjehouder contact met obstakels vermijden, daardoor verhinderend systeemneerstorting tijdens halfgeleider productieproces.