An automated processing system has an indexer bay perpendicularly aligned with a process bay within a clean air enclosure. An indexer in the indexer bay provides stocking or storage for work in progress wafers or articles. Process chambers are located in the process bay. A transfer robot moves wafers from a pod unsealed at a docking station into a carrier at a transfer station. The carrier has tapered or stepped outside surfaces engaging corresponding inside surfaces on a rotor within a process chamber. A process robot moves between the indexer bay and process bay to carry wafers to and from the process chambers. The process robot has a robot arm vertically moveable along a lift rail. Wafers are carried offset from the robot arm, to better avoid contamination. The automated system is compact and requires less clean room floor space.

Un sistema de proceso automatizado tiene una bahía del controlador paso a paso alineada perpendicular con una bahía de proceso dentro de un recinto limpio del aire. Un controlador paso a paso en la bahía del controlador paso a paso proporciona la media o el almacenaje para las obleas o los artículos en marcha del trabajo. Los compartimientos de proceso están situados en la bahía de proceso. Una robusteza de la transferencia mueve las obleas desde una vaina sin sellar en una estación del muelle en un portador en una estación de la transferencia. El portador ha afilado o las superficies exteriores caminadas que contrataban superficies interiores correspondientes en un rotor dentro de un compartimiento de proceso. Una robusteza de proceso se mueve entre la bahía del controlador paso a paso y la bahía del proceso para llevar las obleas a y desde los compartimientos de proceso. La robusteza de proceso tiene un brazo de la robusteza verticalmente movible a lo largo de un carril de la elevación. Las obleas son compensación llevada del brazo de la robusteza, evitar mejor la contaminación. El sistema automatizado es acuerdo y requiere menos espacio del sitio limpio.