To realize high irradiation efficiency and intensity stability for extending lifetime of the short-arc discharge lamp to be used for IC exposure apparatus or the like. For this end, mercury and rare gases are sealed in the inner space 21 of the discharge tube 1. The rare gases are a mixture of a relatively high molecular weight rare gas such as xenon, krypton, argon, etc. and 5%-40% by volume of a relatively low molecular weight rare gas such as helium, neon, etc. And pressure of the mixed rare gases is set to 2 atmospheric pressure or higher. The anode 3 comprises the columnar body portion 14, the tapered portion 13 and the flat portion 12.

Hohe Bestrahlung-Leistungsfähigkeit und Intensität Stabilität für verlängernde Lebenszeit der für IS-Belichtung Apparat oder dergleichen verwendet zu werden Kurzbogen Entladungslampe verwirklichen. Für dieses Ende werden Quecksilber und seltene Gase im inneren Raum 21 des Entladung Schlauches 1 versiegelt. Die seltenen Gase sind eine Mischung eines verhältnismäßig seltenen Gases des hoch Molekulargewichts wie Xenon, Krypton, Argon, etc. und 5%-40% durch Volumen eines seltenen Gases des verhältnismäßig niedermolekularen Gewichts wie Helium, Neon, usw.. Und Druck der seltenen gemischtgase wird auf atmosphärischen Druck 2 oder stark eingestellt. Die Anode 3 enthält den säulenartigen Körperteil 14, den sich verjüngenden Teil 13 und den flachen Teil 12.