A transfer apparatus has a transfer robot for transferring wafers between a process chamber and a pre-pressurizing chamber. The process chamber and pre-pressurizing chamber are arranged in a circle. The transfer robot has multiple arms, arranged hierarchically, for transferring the wafers. The arms are rotatable along the circle and vertically movable.

Ein Übergangsapparat hat einen Übergangsroboter für bringende Oblaten zwischen einem Prozeßraum und einem vor-unter Druck setzenden Raum. Der Prozeßraum und der vor-unter Druck setzende Raum werden in einem Kreis geordnet. Der Übergangsroboter hat die mehrfachen Arme, hierarchisch geordnet, für das Bringen der Oblaten. Die Arme sind drehbar entlang dem Kreis und vertikal beweglich.