Wafer order is randomized in-situ by use of a separate wafer staging area and randomly shuffling wafers to and from this staging area to shuffle the processing order of the wafer lot. Positional data is captured for each wafer at both the send and receive ends of the process.

La orden de la oblea es "in-situ" seleccionado al azar por medio de un área que efectúa de la oblea separada y las obleas aleatoriamente el mezclarse a y desde esta área que efectúa para mezclar la orden de proceso de la porción de la oblea. Los datos posicionales se capturan para cada oblea en el enviar y reciben los finales del proceso.