A system and method for cleaning carriers used for handling semiconductor
wafers including a box cleaner having a rotor within an enclosure. Box
holder assemblies on the rotor include upper and lower hooks for securing
boxes to the rotor. A box door holder assembly is also provided on the
rotor. The box door holder assembly preferably has a plurality of box door
holding positions. Each box door holding position advantageously has a
door guide and door hooks for holding a door. The box door holder assembly
allows both the boxes and their doors to be cleaned with the centrifugal
cleaner, avoiding the need for separate cleaning of the doors. In one
configuration, the rotor is provided with an even number of box holder
assemblies symmetrically spaced about the rotor and an even number of door
holder assemblies symmetrically spaced about the rotor.
Ένα σύστημα και μια μέθοδος για τους μεταφορείς που χρησιμοποιούνται για το χειρισμό των γκοφρετών ημιαγωγών συμπεριλαμβανομένου ενός καθαριστή κιβωτίων που έχει έναν στροφέα μέσα σε μια περίφραξη. Οι συνελεύσεις κατόχων κιβωτίων στο στροφέα περιλαμβάνουν τους ανώτερους και χαμηλότερους γάντζους για την εξασφάλιση των κιβωτίων στο στροφέα. Μια συνέλευση κατόχων πορτών κιβωτίων παρέχεται επίσης στο στροφέα. Η συνέλευση κατόχων πορτών κιβωτίων έχει κατά προτίμηση μια πολλαπλότητα των θέσεων εκμετάλλευσης πορτών κιβωτίων. Κάθε θέση εκμετάλλευσης πορτών κιβωτίων έχει ευνοϊκά έναν οδηγό πορτών και τους γάντζους πορτών για το κράτημα μιας πόρτας. Η συνέλευση κατόχων πορτών κιβωτίων επιτρέπει και στα κιβώτια και στις πόρτες τους για να καθαριστεί με το φυγοκεντρικό καθαριστή, που αποφεύγει την ανάγκη για το χωριστό καθαρισμό των πορτών. Σε μια διαμόρφωση, στο στροφέα παρέχεται ένας ομαλός αριθμός συνελεύσεων κατόχων κιβωτίων που χωρίζονται κατά διαστήματα symmetrically για το στροφέα και ένας ομαλός αριθμός συνελεύσεων κατόχων πορτών που χωρίζονται κατά διαστήματα symmetrically για το στροφέα.
