This invention is to provide a processing system suitable for
manufacturing an SOI substrate. A processing system includes a scalar
robot for conveying a bonded substrate stack held by a robot hand, and a
centering apparatus, separating apparatus, inverting apparatus, and
cleaning/drying apparatus disposed at substantially equidistant positions
from a driving shaft of the scalar robot. When the robot hand is pivoted
about the driving shaft in the horizontal plane and moved close to or
away from the driving shaft, a bonded substrate stack or separated
substrate is conveyed among the processing apparatuses.
Этот вымысел должен обеспечить системы обработки целесообразный для изготовлять субстрат SOI. Системы обработки вклюает скалярный робот для транспортировать bonded стог субстрата, котор держит рука робота, и центризуя прибор, отделяющ прибор, переворачивающ прибор, и прибор cleaning/drying размещанный на существенн равнопромежуточных положениях от управляя вала скалярного робота. Когда рука робота сделана поворот о управляя вале в плоскости горизонтальное и двинута close to или прочь от управляя вал, bonded стог субстрата или отделенный субстрат транспортированы среди обрабатывая приборов.
