A wafer monitoring system including a gripper operative to fixedly hold a
wafer, a bottom buffering unit comprising at least one supporting element
adapted to support a wafer, a top buffering unit comprising at least two
supporting elements adapted to support a wafer, a first actuator
operative to effect relative movement between at least two supporting
elements of the top buffering unit, monitoring apparatus operative to
perform processing steps on a wafer while the wafer is held fixed to the
gripper, and an actuator operative to effect relative movement between
the gripper and the top and bottom buffering units, the top and bottom
buffering units being operative to buffer processed and unprocessed
wafers thereby to enable a robot to arrive at and leave the monitoring
apparatus with at least one wafer thereon.
Um sistema de monitoração do wafer including um operative do prendedor para prender fixa um wafer, uma unidade inferior do buffering que compreende ao menos um elemento suportando adaptou-se para suportar um wafer, uma unidade superior do buffering que compreende ao menos dois elementos suportando adaptados para suportar um wafer, um primeiro operative do atuador para efetuar o movimento relativo entre ao menos dois elementos suportando da unidade superior do buffering, monitorando o operative do instrumento para executar etapas processando em um wafer quando o wafer for prendido fixo ao prendedor, e um operative do atuador para efetuar o movimento relativo entre o prendedor e as unidades do buffering do alto e do fundo, o alto e as unidades do buffering do fundo que são operativos aos wafers desse modo processados e unprocessed do amortecedor para permitir um robô de chegar em e deixar thereon o instrumento de monitoração com ao menos o um wafer.
