An apparatus for processing substrates comprises a substrate handling
chamber, including a substrate handling robot for transferring substrates
from cassettes into a substrate carrier. A processing chamber is provided
adjacent to the handling chamber, including one or more furnaces adapted
to process a plurality of the substrates supported in the carrier. A
weighing device is accessible to the substrate handler. The weighing
device is adapted to weigh the substrates before and after processing the
substrates in the processing chamber. The illustrated process is a curing
anneal for a low k polymer previously deposited on the substrates.
Прибор для обрабатывать субстраты состоит из субстрата регулируя камеру, включая субстрат регулируя робот для перенося субстратов от кассет в несущую субстрата. Обрабатывая камера обеспечена за регулируя камерой, включая one or more печи приспособленные для того чтобы обрабатывать множественность субстратов поддержанных в несущей. Веся приспособление доступно к укротителю субстрата. Веся приспособление приспособлено для того чтобы весить субстраты before and after обрабатывая субстраты в обрабатывая камере. Проиллюстрированный процесс лечить обжигает для низкого полимера к ранее депозированного на субстратах.
