An automated metrology system for photoacoustic measurement of single or
multi-layer films, and a method of making the system, are disclosed.
Dramatic improvements in the cost of ownership of the system is attained
by making the system scalable from a system having a single metrology
sub-system for making measurements, to a system having two, vertically
stacked metrology sub-systems for making independent measurements. A
front end of the system for storing multiple cassettes comprises a robot
having vertical travel capable of transferring cassettes to and from each
of the first and second metrology sub-systems in the case the system is
expanded. The two metrology sub-systems are preferably identical and
share much of the optics, a computer as well as the front end of the
system. Throughput of the dual system is 1.75-2 times greater than that
of a single tool metrology system while the cost is substantially less
than two complete single tool metrology systems.
Un sistema automatizado de la metrología para la medida photoacoustic de películas solas o de múltiples capas, y un método de hacer el sistema, se divulgan. Las mejoras dramáticas en el coste de la propiedad del sistema son logradas haciendo el sistema scalable de un sistema que tiene un solo subsistema de la metrología para hacer medidas, a un sistema que tiene dos, subsistemas verticalmente apilados de la metrología para hacer medidas independientes. Un extremo delantero del sistema para los cassettes del múltiplo que almacena abarca una robusteza que tiene recorrido vertical capaz de transferir los cassettes a y desde cada uno del primer y los segundos subsistemas de la metrología en el caso el sistema se amplían. Los dos subsistemas de la metrología son preferiblemente idénticos y comparten mucha de la óptica, una computadora tan bien como el extremo delantero del sistema. El rendimiento de procesamiento del sistema dual es 1.75-2 veces mayor que el de un solo sistema de la metrología de la herramienta mientras que el coste es substancialmente menos de dos solos sistemas completos de la metrología de la herramienta.
