A F.sub.2 -laser includes a discharge chamber filled with a gas mixture
including molecular fluorine for generating a spectral emission in a
wavelength range between 157 nm and 158 nm including a primary line and a
secondary line, multiple electrodes coupled with a power supply circuit
for producing a pulsed discharge to energize the molecular fluorine, a
resonator including the discharge chamber and an interferometric device
for generating a laser beam having a bandwidth of less than 1 pm, and a
wavelength monitor coupled in a feedback loop with a processor for
monitoring a spectral distribution of the laser beam. The processor
controls an interferometric spectrum of the interferometric device based
on the monitored spectral distribution such that sidebands within the
spectral distribution are substantially minimized.
Een F.sub.2 - de laser omvat een lossingskamer die met een gasmengsel wordt gevuld met inbegrip van moleculair fluor voor het produceren van een spectrale emissie in een golflengtewaaier tussen 157 NM en 158 NM met inbegrip van een primaire lijn en een secundaire lijn, veelvoudige elektroden die aan een kring van de machtslevering voor het veroorzaken van een gepulseerde lossing worden gekoppeld om het moleculaire fluor, een resonator met inbegrip van de lossingskamer en een interferometric apparaat om een laserstraal te produceren die een bandbreedte van minder heeft dan 1 p.m., en een golflengtemonitor te activeren die in een terugkoppelingslijn aan een bewerker voor de controle van een spectrale distributie van de laserstraal wordt gekoppeld. De bewerker controleert een interferometric spectrum van het interferometric apparaat dat op de gecontroleerde spectrale distributie wordt gebaseerd dusdanig dat sidebands binnen de spectrale distributie wezenlijk worden geminimaliseerd.
