A computer program for determining a corrected position of an alignment
mark on a substrate to be exposed in a lithographic projection apparatus,
said computer program comprising program code means for, when executed on
a computer system, instructing the computer system to perform the steps
of: controlling a measuring tool to measure the position of at least one
alignment mark on said substrate overlaid with an Al layer; calculating a
corrected position of the alignment mark on the basis of the measured
position of the alignment mark and a model of a process apparatus involved
in deposition of the Al layer. Preferably, positions of a plurality of
alignment marks on a substrate are measured and used to find parameters of
the model.
Ein Computerprogramm für die Bestimmung einer richtigen Position eines Vorschubzeichens auf einem in einem lithographischen Projektion Apparat, besagtes Computerprogramm herausgestellt zu werden Substrat, das Programmcodemittel für enthält, wenn Sie auf einem Computersystem durchgeführt werden und das Computersystem anweisen, um die Schritte von durchzuführen: Steuern eines messenden Werkzeugs, um die Position von mindestens einem Vorschubzeichen auf besagtem Substrat overlaid mit einer Alschicht zu messen; Berechnung eine richtige Position des Vorschubzeichens auf der Grundlage von die gemessene Position des Vorschubzeichens und des Modells eines Prozeßapparates mit einbezogen in Absetzung der Alschicht. Vorzugsweise werden Positionen einer Mehrzahl der Vorschubzeichen auf einem Substrat, um Parameter des Modells zu finden gemessen und verwendet.
