A wafer scrubbing unit includes a mounting assembly for a scrubber brush.
The mounting assembly has a rotary flow through tube through which
cleaning liquid is delivered to the brush. A stationary tube may be
mounted in the bore of the rotary tube. Spinning shields mounted on the
rotary tube form labyrinth seals to protect a bearing housing from the
cleaning liquid. Bearings for rotatably mounting the rotary tube are
mounted within the housing.
Un'unità fregante della cialda include un complessivo di montaggio per una spazzola dell'impianto di lavaggio. Il complessivo di montaggio fa attraversare un rotativo il tubo tramite cui il liquido di pulizia è trasportato alla spazzola. Un tubo stazionario può essere montato nel foro del tubo rotativo. Gli schermi di filatura hanno montato sulle tenute a labirinto rotative della forma del tubo per proteggere una sede del cuscinetto dal liquido di pulizia. I cuscinetti per rotativamente il montaggio del tubo rotativo sono montati all'interno dell'alloggiamento.
