A capacitive sensor assembly for a robot to prevent damage to the robot
when it moves in an undesired manner is disclosed. The robot may be used
in conjunction with semiconductor fabrication applications. The
capacitive sensor assembly can include a hit contact, one or more fixed
contacts, one or more damping springs, and a capacitive sensor. The hit
contact comes into contact with a barrier as a result of undesired
movement by the robot. The damping springs are compressed against the
fixed contacts when the hit contact comes into contact with the barrier.
The capacitive sensor has a capacitance that changes as the hit contact
comes into contact with the barrier. The capacitance of the capacitive
sensor is used to detect the robot coming into contact with the barrier,
so that damage to the robot can be prevented.
Un conjunto del sensor capacitivo para que una robusteza prevenga daño a la robusteza cuando se mueve de una manera indeseada se divulga. La robusteza se puede utilizar conjuntamente con usos de la fabricación del semiconductor. El conjunto del sensor capacitivo puede incluir un contacto del golpe, unos o más contactos fijos, unos o más resortes que humedecen, y un sensor capacitivo. El contacto del golpe viene en contacto con una barrera como resultado del movimiento indeseado por la robusteza. Los resortes que humedecen se comprimen contra los contactos fijos cuando el contacto del golpe viene en contacto con la barrera. El sensor capacitivo tiene una capacitancia que cambie mientras que el contacto del golpe viene en contacto con la barrera. La capacitancia del sensor capacitivo se utiliza para detectar la robusteza el venir en contacto con la barrera, para poder prevenir el daños a la robusteza.
