The present invention discloses a station, e.g., for IC fabrication with a
flexible configuration. It consists of an array of processing chambers,
which are grouped into processing modules and arranged in a
two-dimensional fashion, in vertical levels and horizontal rows, and is
capable of operating independent of each other. Each processing chamber
can perform electroless deposition and other related processing steps
sequentially on a wafer with more than one processing fluid without
having to remove it from the chamber. The system is served by a single
common industrial robot, which may have a random to access to all the
working chambers and cells of the storage unit for transporting wafers
between the wafer cassettes and inlet/outlets ports of any of the
chemical processing chambers. The station occupies a service-room floor
space and a clean-room floor space. The processing modules and the main
chemical management unit connected to the local chemical supply unit
occupy a service-room floor space, while the robot and the wafer storage
cassettes are located in a clean room. Thus, in distinction to the known
cluster-tool machines, the station of the invention makes it possible to
transfer part of the units from the expensive clean-room area to
less-expensive service area.
La présente invention révèle une station, par exemple, pour la fabrication d'IC avec une configuration flexible. Elle se compose d'un choix de traiter les chambres, qui sont groupées dans traiter des modules et arrangées d'une mode bidimensionnelle, dans les niveaux verticaux et les rangées horizontales, et est capable d'actionner le indépendant de l'un l'autre. Chaque chambre de traitement peut exécuter le dépôt electroless et autre des étapes de transformation reliées séquentiellement sur une gaufrette avec plus d'un fluide de traitement sans devoir l'enlever de la chambre. Le système est servi par un robot industriel commun simple, qui peut avoir un aléatoire à accéder à toutes les chambres et cellules fonctionnantes de l'unité de stockage pour transporter des gaufrettes entre les cassettes de gaufrette et les ports d'inlet/outlets de n'importe lequel de ce produit chimique traitant des chambres. La station occupe une surface au sol de service-pièce et une surface au sol de propre-pièce. Les modules de traitement et l'unité chimique principale de gestion se sont reliés à l'unité chimique locale d'approvisionnement occupent une surface au sol de service-pièce, alors que le robot et les cassettes de stockage de gaufrette sont situés dans une salle propre. Ainsi, dans la distinction aux machines connues d'faisceau-outil, la station de l'invention permet pour transférer une partie des unités à partir du secteur cher de propre-pièce à l'aire de service moins-chère.
