A system for heating solvents in processing semiconductor wafers has a
coiled solvent tube, a coiled cooling water tube, and electric heater
elements, cast in place within an aluminum casting. The solvent flows
through the solvent tube and is heated by conduction of heat through the
casting. The solvent is safely isolated from the heating elements. Water
is pumped through the cooling water tube, to cool the casting if solvent
flow is interrupted, or if the measured casting temperature exceeds a
predetermined set point temperature. Solvent temperature is maintained by
controlling power to the heating elements based on the measured solvent
temperature at the processing chamber.
Um sistema para solventes do heating em processar wafers de semicondutor tem um tubo solvente coiled, um tubo coiled da água refrigerando, e os elementos do calefator elétrico, molde no lugar dentro de uma carcaça de alumínio. O solvente corre através do tubo solvente e é aquecido pela condução do calor através da carcaça. O solvente é isolado com segurança dos elementos de heating. A água está bombeada através do tubo da água refrigerando, para refrigerar a carcaça se o fluxo solvente estiver interrompido, ou se a temperatura moldando medida exceder uma temperatura predeterminada do ponto ajustado. A temperatura solvente é mantida controlando o poder aos elementos de heating baseados na temperatura solvente medida na câmara processando.
