An optical microspectrometer comprises a grism to disperse the spectra in a
line object. A single optical microspectrometer can be used to
sequentially scan a planar object, such as a dye-tagged microchip. Because
the optical microspectrometer is very compact, multiple optical
microspectrometers can be arrayed to provide simultaneous readout across
the width of the planar object The optical microspectrometer can be
fabricated with lithographic process, such as deep X-ray lithography
(DXRL), with as few as two perpendicular exposures.
Оптически microspectrometer состоит из grism для того чтобы разметать спектры в предмете линии. Одиночное оптически microspectrometer можно использовать последовательн для того чтобы просмотреть плоскостной предмет, such as красить-markirovanny1 microchip. Потому что оптически microspectrometer очень компактно, множественные оптически microspectrometers можно одеть для того чтобы обеспечить одновременное считывание через ширину плоскостного предмета оптически, котор microspectrometer можно изготовить с литографским процессом, such as глубокое литографирование рентгеновского снимка (DXRL), с только 2 перпендикулярными выдержками.