In order to ensure that an electromagnetic field lens is capable of
high-resolution observation using a magnetic field lens without leakage of
magnetic flux, there is provided a magnetic field superimposing-type lens
1 for focusing an electron beam onto a sample 3 so as to irradiate the
sample 3 is provided with an upper magnetic pole 213 a long way from the
sample 3 and a lower side magnetic pole 214 close to the sample 3, with
electrical insulation being provided between the upper magnetic pole 213
and the lower magnetic pole 214 by a ferrite insulator 215 provided
between the upper magnetic pole 213 and the lower magnetic pole 214 in an
integral manner with the magnetic poles so that the upper magnetic pole
213 and the lower magnetic pole 214 may be held at different potentials.
There is therefore no leak in flux from between the upper magnetic pole
213 and the lower-magnetic pole 214, the chromatic aberration coefficient
Cc can be made small, and high-resolution observation of the sample can be
achieved.
Zwecks daß ein elektromagnetisches Objektiv auffangen sicherzustellen ist zur hochauflösenden Beobachtung fähig, die ein magnetisches verwendet auffangen Objektiv ohne Durchsickern des magnetischen Flusses, dort wird zur Verfügung gestellt ein magnetisches auffangen Legenart Objektiv 1 für die Fokussierung eines Elektronenstrahls auf eine Probe 3 damit die Probe 3 zu bestrahlen mit einem oberen Magnetpol 213 weit von der Probe 3 und einem untereren seitlichen Magnetpol 214 nah an der Probe 3 versehen wird, wenn die elektrische Isolierung zwischen dem oberen Magnetpol 213 und dem untereren Magnetpol bereitgestellt ist 214 von einer Ferritisolierung 215, die versehen wird zwischen dem oberen Magnetpol 213 und dem untereren Magnetpol 214 in einer integralen Weise mit dem magnetischen Pfosten, damit der obere Magnetpol 213 und der unterere Magnetpol 214 an den unterschiedlichen Potentialen gehalten werden können. Es gibt folglich keine Leckstelle im Fluß zwischen vom oberen Magnetpol 213 und vom niedrig-magnetischen Pfosten 214, kann der chromatische Abweichung Koeffizient cm klein gebildet werden, und hochauflösende Beobachtung der Probe kann erzielt werden.
