Microelectronic workpiece transfer devices and methods for using such
transfer devices. One embodiment of a transfer device includes a transport
unit configured to move along a linear track and a lift assembly carried
by the transport unit. The transfer device can also include an arm
assembly having an arm actuator carried by the lift assembly to move along
a lift path and an arm carried by the arm actuator to rotate about the
lift path. The arm can include an extension projecting from one side of
the lift path. The arm actuator can rotate the arm about the lift path.
The transfer device can also include a first end-effector and a second
end-effector. The end-effectors are rotatably coupled to the extension of
the arm and can rotate independently about a common axis, with the first
and second end-effectors at different elevations relative to the arm.
Dispositivi e metodi microelettronici di trasferimento del pezzo in lavorazione per per mezzo di tali dispositivi di trasferimento. Un incorporamento di un dispositivo di trasferimento include un'unità di trasporto configurata per muoversi lungo una pista lineare e un complessivo dell'elevatore trasportati dall'unità di trasporto. Il dispositivo di trasferimento può anche includere un complessivo del braccio che fa un azionatore del braccio trasportare tramite il complessivo dell'elevatore per muoversi lungo un percorso dell'elevatore e un braccio trasportati dall'azionatore del braccio per ruotare circa il percorso dell'elevatore. Il braccio può includere un'estensione che si proietta da un lato del percorso dell'elevatore. L'azionatore del braccio può ruotare il braccio circa il percorso dell'elevatore. Il dispositivo di trasferimento può anche includere un primo end-effector e un secondo end-effector. I end-effectors sono accoppiati rotativamente all'estensione del braccio e possono ruotare indipendentemente circa un asse comune, con i primi e secondi end-effectors alle altezze differenti riguardante il braccio.
