Transfer devices for handling microelectronic workpieces, apparatus for
processing microelectronic workpieces, and methods for manufacturing and
using such transfer devices. One embodiment of a transfer device includes
a transport unit configured to move along a linear track and a lift
assembly carried by the transport unit. The transfer device can also
include an arm assembly having an arm actuator carried by the lift
assembly to move along a lift path and an arm carried by the arm actuator
to rotate about the lift path. The arm can include a first extension
projecting from one side of the lift path and a second extension
projecting from another side of the lift path. The arm actuator can rotate
the arm about the lift path. The transfer device can also include a first
end-effector and a second end-effector. The first end-effector is
rotatably coupled to the first section of the arm to rotate about a first
rotation axis, and the second end-effector is rotatably coupled to the
second extension of the arm to rotate about a second rotation axis. The
first and second rotation axes can be generally parallel to the lift path,
which itself can be substantially vertical, and the first and second
end-effectors can be at different elevations relative to the arm.
Transfira dispositivos para segurar workpieces microelectronic, instrumento para processar workpieces microelectronic, e métodos para o manufacturing e usar tais dispositivos de transferência. Uma incorporação de um dispositivo de transferência inclui uma unidade do transporte configurarada para mover-se ao longo de uma trilha linear e de um conjunto do elevador carregados pela unidade do transporte. O dispositivo de transferência pode também incluir um conjunto do braço que tem um atuador do braço carregado pelo conjunto do elevador para mover-se ao longo de um trajeto do elevador e de um braço carregados pelo atuador do braço para girar sobre o trajeto do elevador. O braço pode incluir uma primeira extensão que projetam-se de um lado do trajeto do elevador e uma segunda extensão que projeta-se de um outro lado do trajeto do elevador. O atuador do braço pode girar o braço sobre o trajeto do elevador. O dispositivo de transferência pode também incluir um primeiro end-effector e um segundo end-effector. O primeiro end-effector é acoplado rotatably à primeira seção do braço para girar aproximadamente uma primeira linha central de rotação, e o segundo end-effector é acoplado rotatably à segunda extensão do braço para girar aproximadamente uma segunda linha central de rotação. Os primeiros e segundos machados da rotação podem estar geralmente paralelos ao trajeto do elevador, que próprio pode ser substancialmente vertical, e os primeiros e segundos end-effectors podem estar em elevações diferentes relativo ao braço.
