An apparatus for processing a substrate includes a load port for
supporting a container for receiving a plurality of substrates, a
substrate processing module for processing the substrate transferred from
the container, a substrate transfer module, including a substrate
transfer chamber connecting the load port with the substrate processing
module and a substrate transfer robot disposed in the substrate transfer
chamber for transferring the substrate, a fan filter unit connected to
the substrate transfer chamber for supplying air, a differential pressure
gauge connected to the substrate transfer chamber for measuring a
differential pressure between internal and external pressures of the
substrate transfer chamber, and a pressure adjustment means for
exhausting air supplied into the substrate transfer chamber and for
adjusting a flow rate of air being exhausted from the substrate transfer
chamber according to the differential pressure so that the internal
pressure is maintained higher than the external pressure.
Um instrumento para processar uma carcaça inclui um porto da carga para suportar um recipiente para receber um plurality das carcaças, uma carcaça que processa o módulo para processar a carcaça transferida do recipiente, um módulo de transferência da carcaça, including uma câmara de transferência da carcaça que conecta o porto da carga com a carcaça que processam o módulo e um robô de transferência da carcaça disposto na câmara de transferência da carcaça para transferir a carcaça, uma unidade de filtro do ventilador conectada à câmara de transferência para o ar fornecendo, um calibre da carcaça de pressão diferencial conectado à câmara de transferência da carcaça para medir uma pressão diferencial entre pressões internas e externas da câmara de transferência da carcaça, e meios do ajuste de uma pressão para o ar esgotando fornecido em câmara de transferência da carcaça e para ajustar uma taxa de fluxo do ar que está sendo esgotado da câmara de transferência da carcaça de acordo com a pressão diferencial de modo que a pressão interna seja mantida mais altamente do que a pressão externa.
