Disclosed is a micromirror actuator that includes: a substrate provided
with an insulating layer formed thereon; two lower columns spaced from
each other by a designated distance, and formed on the insulating layer; a
first torsion bar extending over upper surfaces of the lower columns; a
second torsion bar formed so that the first and second torsion bars are
orthogonal to each other; four electrodes, each disposed in four areas
formed by the orthogonal crossing of the first and second torsion bars,
formed on the insulating layer; two upper columns formed on an upper
surface of the second torsion bar so that the upper surfaces of the upper
columns are located at higher positions than the upper surfaces of the
electrodes; and a micromirror located on the upper surfaces of the upper
columns so that the micromirror is supported by the upper columns.
É divulgado um atuador do micromirror que inclua: uma carcaça forneceu com uma camada isolando dada forma thereon; duas colunas mais baixas espaçadas de se por uma distância designada, e dadas forma na camada isolando; uma primeira barra da torsão que estende superfícies superiores excedentes das colunas mais baixas; uma segunda barra da torsão deu forma de modo que as primeiras e segundas barras da torsão fossem orthogonal a se; quatro elétrodos, cada um dispuseram em quatro áreas dadas forma pelo cruzamento orthogonal das primeiras e segundas barras da torsão, dado forma na camada isolando; duas colunas superiores deram forma em uma superfície superior da segunda barra da torsão de modo que as superfícies superiores das colunas superiores fossem ficadas situadas em umas posições mais elevadas do que as superfícies superiores dos elétrodos; e um micromirror situado nas superfícies superiores das colunas superiores de modo que o micromirror seja suportado pelas colunas superiores.
