Contact assemblies, electroplating machines with contact assemblies, and
methods for making contact assemblies that are used in the fabrication of
microelectronic workpieces. The contact assemblies can be dry-contact
assemblies. A contact assembly for use in an electroplating system can
comprise a support member and a contact system carried by the support
member. The support member, for example, can be a ring or another
structure that has an opening configured to receive the workpiece. In one
embodiment, the support member is a conductive ring. The contact system
can have a plurality of contact members projecting inwardly into the
opening relative to the support member. The contact members can comprise
electrically conductive biasing elements that have contact sites and the
contact members can also have a dielectric coating covering at least a
portion of the biasing elements. The contact system can also have a shield
carried by the support member and a seal on the lip of the shield. The
shield and seal are configured to prevent electroplating solution from
engaging the contact members.
Contactez les assemblées, en plaquant des machines avec des contacts, et des méthodes pour faire les contacts qui sont utilisés dans la fabrication des objets microélectroniques. Les contacts peuvent être sec-mettent en contact des assemblées. Un contact pour l'usage dans un système de galvanoplastie peut comporter un membre de soutien et un système de contact portés par le membre de soutien. Le membre de soutien, par exemple, peut être un anneau ou une structure différente qui a une ouverture configurée pour recevoir l'objet. Dans une incorporation, le membre de soutien est un anneau conducteur. Le système de contact peut avoir une pluralité de membres de contact projetant vers l'intérieur dans l'ouverture relativement au membre de soutien. Les membres de contact peuvent comporter électriquement les éléments polarisants conducteurs qui ont des emplacements de contact et les membres de contact peuvent également avoir enduire diélectrique couvrant au moins une partie des éléments polarisants. Le système de contact peut également avoir un bouclier porté par le membre de soutien et un phoque sur la lèvre du bouclier. Le bouclier et le joint sont configurés pour empêcher plaquer la solution d'engager les membres de contact.
