A gas inlet manifold for a plasma chamber having a perforated gas
distribution plate suspended by a side wall comprising one or more sheets.
The sheets preferably provide flexibility to alleviate stress in the gas
distribution plate due to thermal expansion and contraction. In another
aspect, the side wall provides thermal isolation between the gas
distribution plate and other components of the chamber.
Um distribuidor da entrada do gás para uma câmara do plasma que tem uma placa perfurada da distribuição do gás suspendida por uma parede lateral que compreende um ou mais folha. As folhas fornecem preferivelmente a flexibilidade aliviar o stress na placa da distribuição do gás devido à expansão térmica e à contração. Em um outro aspecto, a parede lateral fornece a isolação térmica entre a placa da distribuição do gás e outros componentes da câmara.
