A microvalve and a method of forming a diaphragm stop for a microvalve. The
microvalve includes a first layer and a diaphragm member to control the
flow of fluid through the microvalve. The method comprises the step of
forming a contoured shaped recess extending inward from a surface of the
layer by using a laser to remove material in a series of areas, at
successively greater depths extending inward from said surface.
Preferably, the recess has a dome shape, and may be formed by a
direct-write laser operated via a computer aided drawing program running
on a computer. For example, CAD artwork files, comprising a set of
concentric polygons approximating circles, may be generated to create the
dome structure. The laser ablation depth can be controlled by modifying
the offset step distance of the polygons and equating certain line widths
to an equivalent laser tool definition. Preferably, the laser tool
definition is combined with the CAD artwork, which defines a laser path
such that the resulting geometry has no sharp edges that could cause the
diaphragm of the valve to tear or rupture.
Een microvalve en een methode om een diafragma te vormen houden voor een microvalve op. Microvalve omvat een eerste laag en een diafragmalid om de stroom te controleren van vloeistof door microvalve. De methode bestaat uit de stap van het vormen van een de contouren aangegeven van gestalte gegeven reces dat zich binnenwaarts van een oppervlakte van de laag door een laser uitbreidt te gebruiken om materiaal in een reeks van gebieden, bij opeenvolgend grotere diepten die zich uit bovengenoemde oppervlakte te verwijderen binnenwaarts uitbreiden. Bij voorkeur, heeft het reces een koepelvorm, en kan door worden gevormd direct-schrijft laser die via een tekeningsprogramma in werking dat wordt gesteld dat met computer over een computer loopt. Bijvoorbeeld, CAD kunnen de kunstwerkdossiers, die uit een reeks concentrische veelhoeken bestaan die cirkels benaderen, worden geproduceerd om de koepelstructuur tot stand te brengen. De diepte van de laserablatie kan worden gecontroleerd door de afstand van de compensatiestap van de veelhoeken te wijzigen en bepaalde lijnbreedten te vergelijken aan een gelijkwaardige definitie van het laserhulpmiddel. Bij voorkeur, wordt de definitie van het laserhulpmiddel gecombineerd met het CAD kunstwerk, dat een laserweg bepaalt dusdanig dat de resulterende meetkunde geen scherpe randen heeft die het diafragma van de klep konden veroorzaken om te scheuren of te verbreken.
