The invention features an interferometry system that uses a small angular
difference in the propagation directions of orthogonally polarized
components of an input beam to an interferometer. The orthogonally
polarized components define reference and measurement beams for the
interferometer. The angular difference allows one to distinguish between
the reference and measurement beam components of the input beam and
facilitates the suppression of at least some of the cyclic errors caused
by interferometer imperfections.
La invención ofrece un sistema de la interferometría que utilice una diferencia angular pequeña en las direcciones de la propagación de componentes orthogonally polarizados de una viga de la entrada a un interferómetro. Los componentes orthogonally polarizados definen las vigas de la referencia y de la medida para el interferómetro. La diferencia angular permite que una distinga entre la referencia y los componentes de la viga de la medida de la entrada emiten y facilitan la supresión por lo menos de algunos de los errores cíclicos causados por imperfecciones del interferómetro.
