A capacitive type MEMS switch having a conductor arrangement comprised of
first and second RF conductors deposited on a substrate. A bridge member
having a central enlarged portion is positioned over the conductor
arrangement. In one embodiment, the first RF conductor has an end defining
an open area in which is positioned a pull down electrode, with the end of
the first RF conductor substantially surrounding the pull down electrode.
In another embodiment, two opposed RF conductors, each having ends with
first and second branches, define an open area in which a pull down
electrode is positioned. A dielectric layer is deposited on the conductor
arrangement such that when a pull down voltage is applied to the pull down
electrode, the switch impedance is significantly reduced so as to allow
signal propagation between the RF conductors.
Um tipo capacitivo interruptor de MEMS que tem um arranjo do condutor compreendido de primeiramente e os segundos condutores do RF depositados em uma carcaça. Um membro da ponte que tem uma parcela ampliada central é posicionado sobre o arranjo do condutor. Em uma incorporação, o primeiro condutor do RF tem uma extremidade que define uma área aberta em que é posicionado um elétrodo da tração para baixo, com a extremidade do primeiro condutor do RF que cerca substancialmente o elétrodo da tração para baixo. Em uma outra incorporação, dois opuseram condutores do RF, cada um que tem extremidades com primeiramente e as segundas filiais, definem uma área aberta em que um elétrodo da tração é posicionado para baixo. Uma camada dieléctrica é depositada no arranjo do condutor tais que quando uma tensão da tração é aplicada para baixo ao elétrodo da tração para baixo, o impedance do interruptor está reduzido significativamente para permitir a propagação do sinal entre os condutores do RF.
